물품설명
- 반도체 제조 공정 중 웨이퍼의 식각 및 증착에 사용하는 가스를 일정하게 공급해주는 유량 자동조절기기로, 유량센서, 피에조 밸브, PCBA 등으로 구성됨
- 장착위치 : 반도체 제조설비의 Gas Box(IGS 판넬) 내부
- 유량 조절범위 : 10sccm* ∼ 50slm
* Standard cubic centimeter per min
- 기능 : 열식센서를 통해 피에조 밸브를 개폐함으로써 유량 조절

- 내부 구성요소 및 기능
① 유량센서 : 가스 유입에 따른 온도차를 이용해 유량을 감지하는 열식센서
② Piezo밸브 : 적층피에조 소자에 공급되는 전압에 의해 상하 확장되는 성질을 이용하여 메탈 다이아프램 밸브를 구동
③ PCBA 전기회로
- 브릿지회로 : 유량센서에서 검출된 온도 변화를 전기신호로 변환
- 증폭회로 : 브리지회로에서 변환된 전기신호를 증폭
- 보정회로 : 증폭된 전기신호를 선형 전압신호로 변환하여 비교제어회로에 출력
- 비교제어회로 : 외부에서 입력된 유량설정 전압신호와 비교한 후, 필요에 따라 밸브구동회로를 구동
- 밸브구동회로 : 설정값과 출력신호의 차가 0이 되도록 밸브를 개폐시킴

결정사유
ㅇ 관세율표 제9032호에는 '자동조절용이나 자동제어용 기기'가 분류되고 소호 제9032.89호에는 액압식이나 공기식이 아닌 '그 밖의 자동조절용이나 자동제어용 기기'가 세분류됨.
- 같은 호 해설서에 "이 호에 포함되는 것으로 액체나 기체의 유량·깊이·압력이나 그 밖의 변량의 자동제어용 기기나 온도의 자동 제어용 기기 : 작동이 자동으로 제어되는 요소에 따라 변화하는 전기적 현상에 달려있는지에 상관없다. 이들 요소의 실제 값을 지속적으로나 주기적으로 측정하여 장해에 대해 안정적인 희망치(descired value)로 만들고 유지하도록 설계되어 있다."라고 설명하고 있음

ㅇ 본 물품은 반도체 웨이퍼의 식각 및 증착 공정에 공급되는 가스의 유량을 측정하고, 측정값과 설정값을 비교하여 설정값이 유지되도록 밸브를 개폐함으로써 유량을 조절하는 유량자동조절기임

ㅇ 따라서 본 물품은 액압식이나 공기식이 아닌 기타의 유량자동조절기로 '반도체 제조용 기기의 것'이므로, 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호와 제6호에 따라 제9032.89-4091호에 분류함.

 

 

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