경기도 화성시에 위치한 나노기술 소재부품 전문기업 시노펙스 본사. /시노펙스 제공

반도체 공정 필수 장비이지만 전량 수입에 의존하던 ‘세정 공정용 나노(nm, 10억분의 1m)급 필터의 국산화가 이뤄졌다.

17일 산업통상자원부에 따르면 나노 소재 부품기업인 시노펙스는 이날 경기도 화성 동탄 공장에서 신규 생산 라인을 준공하고 반도체 세정 공정용 나노급 필터를 양산한다.

반도체 세정용 나노급 필터는 세정용 화학 물질의 불순물을 정제하기 위한 필터다. 필터 성능이 반도체 수율과 직결되는 핵심 장비다.

반도체 선폭의 미세화 추세에 따라 초미세 오염 물질을 제거하는 세정 공정의 중요성이 커지고 있다.

이번 생산라인 준공으로 세정 공정용 나노급 필터에 대한 국내 수요 100%를 자급할 수 있는 능력을 확보했다고 산업부는 설명했다.

이곳에서 생산된 필터는 세정 장비사를 거쳐 삼성전자와 SK하이닉스에 공급될 예정이다.

해당 사업은 산업부의 ‘소부장(소재·부품·장비) 협력 모델’을 통해 123억원의 연구개발비를 지원받았다.

준공식에 참석한 이승렬 산업부 산업정책실장은 “첨단 산업 경쟁력 확보 및 공급망 강화를 위해서는 수요, 공급 기업 간 협력이 중요하다”며 “정부는 첨단산업 초격차 연구개발 및 공급망 안정성 확보를 위한 투자를 확대하겠다”고 말했다.